二手 PLASMATHERM SLR 720 #9153526 待售
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ID: 9153526
晶圓大小: 6"
優質的: 1996
Reactive Ion Etcher (RIE), 6"
Aluminum chamber with load lock
Bottom electrode, 11"
MKS 286 Controller
(6) Zones heated chamber
MKS 290 Ion gauge controller
LEYBOLD 360 Turbo with 150/360 controller
ADVANCE ENERGY RFPP 5S RF Power supply
With AM5 matching network
Gas configuration:
(4) MKS 1159 MFCs (50,100,100,200 Sccm)
Operating system: Windows OS
Power supply: 208 V, 3 Phase, 60 Hz
1996 vintage.
PLASMATHERM SLR 720是一款先進的蝕刻/asher設備,專為需要精確蝕刻和高產操作的應用而設計。單反720提供多種蝕刻工藝,包括反應性離子蝕刻(RIE)、離子鍍層(IP)和硬蝕刻(HE)。PLASMATHERM SLR 720非常適合加工高價值基板,提供光學清潔表面。SLR 720以高等離子體功率為動力,提供卓越的蝕刻性能和廣泛的蝕刻條件,使用戶能夠獲得最佳的蝕刻深度、精度和圖案定義。蝕刻和灰化工藝是獨立控制的,為高產生產提供了理想的條件。機器的內部包括一個先進的運動控制系統,可以提高精確的位置精度和重復性。PLASMATHERM SLR 720設計方便用戶,易於使用,確保任何學術和/或工業用戶能夠快速高效地適應機器。它具有直觀的圖形用戶界面(GUI),使操作盡可能簡單。SLR 720先進的電磁控濺射(EMS)特性使其能夠產生具有卓越均勻性和厚度控制的光學清潔表面。這使得它成為導電膜沈積、鈍化、圖樣底物蝕刻等廣泛應用的絕佳選擇。此外,PLASMATHERM SLR 720還具有多項安全功能,有助於防止事故發生。設置了極為嚴格的排氣裝置,以確保任何蝕刻工藝的副產品的釋放受到管制,並保持在安全水平。在維護和維修方面,單反720是為易於跟進和快速維護程序而設計的。直觀的預防性維護調度機在維護到期時提醒用戶,確保始終實現最佳操作。總之,PLASMATHERM SLR 720是一種先進的蝕刻/粉碎器工具,在精度、性能和安全性之間提供了極大的平衡。它非常適合高價值基材加工,並提供多種蝕刻工藝。直觀的GUI和預防性維護資產使任何用戶都可以輕松地從其復雜的功能中受益。
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