二手 PLASMATHERM SLR 720 #9153536 待售

PLASMATHERM SLR 720是一個蝕刻器和asher設計，以有效地執行高級蝕刻和ashing過程。它可以精確、快速地蝕刻平面和微網表面，從而在制造微機構件和裝置方面有廣泛的應用。設備包括一個超緊湊的RWE（快速晶片蝕刻）室，設計用於大規模，高效晶片處理。其專利、高壓、大氣壓蝕刻器是精密蝕刻基材的有力解決方案。SLR 720具有多個電極組件,可實現最佳蝕刻控制。它使用脈沖調制的射頻（RF）激勵和脈沖調制的電源來運作，以提供均勻和可變的功率水平。這與先進的靜電控制系統相結合，確保了對基材蝕刻的精確控制，並實現了可重復的結果。其自動編程軟件能夠快速、方便地編程蝕刻和灰化工藝配方。PLASMATHERM SLR 720還附帶了一個先進的流程監控單元，允許操作員實時監控結果。它的診斷傳感器提供有關蝕刻和灰化過程的詳細信息，從而能夠主動控制和防止工藝變化。此外，它的自動排氣機在蝕刻和灰化過程中提供了對氣體和汙染物的有效控制。SLR 720設計用於金屬和矽片的高精度蝕刻。也可用於蝕刻碳纖維增強塑料、陶瓷基板等薄膜材料。該工具非常適合微加工工藝，設計可靠，易於使用，成本效益高。總之，PLASMATHERM SLR 720是一種可靠的蝕刻器和灰化器，旨在為先進的蝕刻和灰化工藝提供精確、可重復的結果。它的自動化系統、全面的診斷和高效的排氣系統為操作員提供了一種簡單、經濟高效的方法來實現準確、可重復的結果。