二手 PLASMATHERM SLR 720 #9153540 待售

PLASMATHERM SLR 720是一款高級蝕刻器/asher，設計用於精密敏感微電子應用。該技術由PLASMATHERM開發,結合了物理、化學和機械處理,有助於確保表面質量、平面度和持久清潔。單反720是一種具有兩個獨立等離子體源的單室設備。第一個源利用柔性旋轉磁控管進行適當的材料去除。第二個源使用變頻發生器（VFG）進行低壓多頻運行。一個可精確調節的射頻電源與VFG耦合，允許精確控制等離子體環境，允許用戶定義蝕刻配方。蝕刻過程由直流電（DC）源啟用，它與帶有低頻信號偏置的電源耦合，允許快速應用所需的表面處理。兩個獨立的等離子體源有助於在樣品表面上保持均勻的離子轟擊，並創建一個一致的過程窗口。PLASMATHERM SLR 720還包含一個全自動的原位清洗系統。此單元在每個蝕刻循環之前預處理腔室和工藝腔室以及所有可控組件。原位機不僅有助於保持腔室清潔，不受汙染，而且確保等離子體源在最佳範圍內運行。SLR 720可與自動化的鎖載系統集成，並具有允許用戶編程配方以滿足其特定需求的軟件包。此外，該工具還配備了觸摸面板，便於監控和控制所有工藝參數。總體而言，PLASMATHERM SLR 720是一款先進的蝕刻器/asher，旨在滿足精密微電子行業的需求。其原位清洗資產、雙源技術以及可精確調諧的電源可確保高質量和可重復的蝕刻工藝,並具有卓越的表面光潔度。