二手 PLASMATHERM SLR 720 #9156982 待售
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ID: 9156982
晶圓大小: 8"
Reactive ion etcher (RIE), 8"
Manual load lock
Advanced energy RFPP 5S RF Power supply
Match work and tuner
Leybold 361C turbo with NT20 controller
4 MFCs
11" Lower electrode
13" Shower head.
PLASMATHERM SLR 720是來自PLASMATHERM的一種精密蝕刻/粉刷技術。它提供了CD、IC、基板和許多其他材料的成功蝕刻和灰化所必需的一系列特性和功能。它是一個完全包含蝕刻和灰化設備,配有自己內置的PC Workstation,一個集成的16氣體武庫加上一個高精度的抽水系統,以及一個符合人體工程學的機械臂。集成的PC Workstation提供直觀、用戶友好的界面,支持設備的遠程操作和在線監控。集成的16氣體庫包含7種不同的氣體,從氧氣到矽烷,以提供各種材料的最佳蝕刻和灰化。高精度抽油機精確控制氣流,確保蝕刻和灰化過程的準確性和可重復性。機械臂進一步有助於在難以到達的區域對基板進行精確和高效的蝕刻。SLR 720增強的硬件軟件配置支持多功能蝕刻功能。該工具可以編程為在單個和多個過程中蝕刻多個基板,如實時參數優化、實時掃描控制、深度控制和輪廓校正,或者這些過程的組合。另外,PLASMATHERM SLR 720允許二級金屬化的集成蝕刻,從而有助於減少所需的加工時間。PLASMATHERM定價模式規模友好,非常適合小型和大型蝕刻行業。資產還提供增強的機械和安全功能。它內置的安全監控模型有助於保護設備和人員免受燒毀和溢出。此外,系統還具有緊急關閉按鈕,允許立即關閉並防止潛在損壞。簡而言之,SLR 720是一款堅固、用途廣泛的蝕刻和灰化裝置,具有人體工程學設計、高精度抽油機、直觀的PC工作站、16氣武庫、擴展性蝕刻功能和集成式安全功能。它為CD、IC和其他基板應用提供了經濟高效的蝕刻和灰化解決方案。
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