二手 PLASMATHERM SLR 720 #9382253 待售

PLASMATHERM SLR 720是一款高精度、多級的等離子體蝕刻器/asher，專為制造超薄過濾元件、納米機器人、MEMS/NEMS器件和其他微電子元件而設計。該機設有四個相互連接的不同腔室（工藝、預清潔、鎖載和蝕刻/灰分），以清潔液體、氣體或氮氣提供精確的等離子體蝕刻/灰分處理。工藝室是蝕刻器/灰化器內的主室，包含等離子體源、射頻和直流電源以及晶圓安全傳感器。它還具有先進的等離子體傳感器和蝕刻速率測量系統，以實現卓越的控制。預清室是一種專用的腔室，帶有高壓、環境溫度、低濕度的工藝氣體，用於在蝕刻或灰化前清洗和脫氣。它還允許晶片的精確定向。鎖載室進一步提高了工藝室的清潔度，通過為工藝室提供超高真空環境，提供了更高質量的蝕刻/灰化工藝。蝕刻/灰室是整臺機器的最後階段，包含多種不同的工藝氣體，根據特定的蝕刻/灰化工藝量身定制。氣源通常包括氟基等離子體氣體，如CF4、CHF3和CF3Br，以及氧氣和其他惰性氣體。通過對壓力、流量、溫度、氣型、基板溫度等所有工藝參數的精確控制，優化生產產量和最終質量。SLR 720的其他功能和工藝選項包括：自動厚度測量、車載計算機控制、手動工藝控制、可調檢測和介電蝕刻窗口、液晶觸摸屏界面、中央數據采集/存檔控制臺、主動晶片監控、蝕刻速率實時顯示、晶片處理無缺陷、過程自動可重復性和完全集成到生產系統中。所有這些特性結合其先進的等離子體蝕刻/灰分工藝，使PLASMATHERM SLR 720成為生產具有最高質量的超薄過濾元件、納米機器人、MEMS/NEMS器件和其他先進微電子元件的理想工具。