二手 PLASMATHERM SLR 730 #9123961 待售

ID: 9123961
優質的: 1997
PECVD System, 2"- 8" Shuttle lock load lock loading system Platen transfer Model 700 Al chamber Top electrode: 13" Heater: Watlow 250ºC RF Power supply: RFSS with AM5 matching network (8) MFC's: MKS 1179: N20, N2, NH3, N2, SF6, Silane 2% in He, Silane 1.9% in He Chiller: Neslab HX 75 OS: Plasmatherm windows 208V, 3 phase, 60A 1997 vintage.
PLASMATHERM SLR 730是一款用於精密表面微加工的最先進的蝕刻器和asher。由於采用高速多束準分子激光技術,結果具有極好的均勻性和重復性。它具有靈活、緊湊和模塊化的設計,非常方便各種生產過程。PLASMATHERM SLR-730的工作溫度範圍為-20°C至+55°C,頻率範圍為0至20 MHz,功率範圍為0至1.5kW。其單桿掃描儀設備確保工件塗覆均勻、準確、精確的結果。此外,它還具有內置的自我保護功能,可在發生故障時禁用系統。SLR 730有幾個獨特的特點和優點,使其與其他蝕刻器和ashers相比產生優越的效果。它有一個直接註入的激光室,這使得它更容易蝕刻,切割和燒蝕材料,以及一個旋轉的工作空間,在處理各種材料時提供更高的精度。此外,它的負載鎖定裝置在操作過程中提供了更高的安全性和便利,因為它保持了腔室的清潔,並允許在芯片生產過程中不間斷地連續運行。SLR-730的殘余損耗極低,為0.3%,支持非常低溫的加工,為用戶提供高產率和性能,在數量和結果質量方面都是如此。此外,它的大容量使得傳統的批量加工已經過時,因為多達500個單獨的基板可以同時在一個統一的運行過程中進行加工。為了最大限度地方便用戶,PLASMATHERM SLR 730有一個人性化的HMI(人機界面),可以方便操作。它有一個直觀的用戶指導機器,可以被沒有事先經驗的操作員使用。此外,其易於維護的周期允許長期持久的業績,而其較低的業務成本提高了其價值。PLASMATHERM SLR-730真正是一個最先進的蝕刻器和asher,它具有廣泛的特點、優點和優勢,在各種過程中提供卓越的性能和精確度。其一致的結果和用戶友好的結構使其成為尋求可靠的尖端微加工解決方案的老牌企業和新企業的理想選擇。
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