二手 PLASMATHERM SLR 730 #9412635 待售

PLASMATHERM SLR 730是一款最先進的單面蝕刻和灰化設備，用於從多種基材，包括矽、石英和許多金屬中快速高效去除光刻膠等材料。PLASMATHERM SLR-730配備了先進的功能，使用戶能夠快速準確地從基板上去除敏感材料層。單反730的核心特點是其先進的等離子體腔室，經過專門設計和優化，以最大限度地提高蝕刻和灰化工藝的可靠性、安全性和吞吐量。該室采用獨特的兩級工藝-首先產生用於蝕刻的高等離子體溫度，然後降低去除灰分的溫度-以最大程度地減少在此過程中損壞基板的可能性。等離子體腔室由堅固的不銹鋼外殼組成，內襯超高純度陶瓷襯裏，保證耐用性。此外,SLR-730還具有完全集成的流程控制系統,允許用戶設置精確的流程參數並監控性能。此單元使用戶能夠完全控制蝕刻和灰化過程,並有助於確保每種基材都能以可靠的精度進行蝕刻和灰化。控制機設有彩色觸摸屏液晶控制面板,用戶只需幾次觸摸即可調節蝕刻/灰分壓力、溫度和其他參數。最後，PLASMATHERM SLR 730配備了保證用戶和基板安全的安全特性。為了安全起見，對所有操作進行了監控，並配備了可靠的故障檢測和保護工具，確保等離子體腔不會過熱或過壓。此外，PLASMATHERM SLR-730由獨特的不銹鋼室門衛保護，確保等離子體室在腔室爆裂時得到完全保護。SLR 730蝕刻和灰化資產是用戶在蝕刻和灰化材料時需要精確、可重復結果的理想選擇。SLR-730具有堅固的等離子體腔室、先進的工藝控制模型和安全特性，是那些需要可靠蝕刻和灰化性能的人的理想解決方案。