二手 PLASMATHERM SLR 770 ECR #293605777 待售

PLASMATHERM SLR 770 ECR是由工藝工具和系統解決方案的領先行業提供商PLASMATECH制造的最先進的蝕刻器/aser。這種先進的設備使用電離氣體（等離子體）來蝕刻、清潔和保養各種材料。這包括玻璃、陶瓷、塑料、金屬和半導體材料。PLASMAHERM SLR 770 ECR的特點是充滿了許多技術進步。蝕刻/灰化工藝組合在一個緊湊的單元中,從而實現快速高效的晶圓加工。它還具有快速進入蝕刻室的負載鎖和內置真空系統，以提高吞吐量。此外,SLR 770還設計用於遠程控制操作,方便操作員訪問。蝕刻器/aser具有集成的使用RF和溫度分析的診斷功能，以及先進的溫度映射來優化過程。此外，該設備擁有先進的配方系統，以最大限度地提高蝕刻質量和統一性，還擁有人性化的控制和易於導航。PLASMAHERM PLASMATHERM SLR 770 ECR的靈活性也允許根據材料而有一系列特定的蝕刻配方。使用手動氣體輸送及其可調工藝參數，如電流和電壓、電壓混合、預調諧循環和等離子體源，可以方便地實現這一點。蝕刻器/aser還具有非常高分辨率的液晶顯示器和直觀的圖形用戶界面,可提供可視反饋,從而簡化操作。該設備還具有集成的加熱器、氣流控制和自動校準功能,以及遠程診斷和控制功能,以提高可靠性和過程安全性。該設備還具有集成的安全功能,如ESD保護和真空超壓限制。PLASMAHERM SLR 770 ECR也有模塊化的設計，使得它容易與現有的蝕刻系統整合使用。它還具有極具競爭力的成本,對於希望提升蝕刻過程的組織來說,這是一個絕佳的選擇。