二手 PLASMATHERM SLR 770 RIE #293753769 待售
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ID: 293753769
優質的: 1994
Etcher
Chamber 1: CF4, CHF3, O2, H2
Chamber 2: O2, Cl2, Bcl3, HBr
(2) Turbo pumps
Vacuum pump
1994 vintage.
PLASMATHERM SLR系列是一款幹蝕刻和灰化設備，設計用於對多種半導體材料進行精確蝕刻和蝕刻速率控制。該系統具有強大的側壁和各向異性蝕刻能力,非常適合晶圓蝕刻、薄膜圖樣制作和半導體器件上的小特征制作。該裝置還具有廣泛的來源技術選擇，以加強蝕刻工藝，包括等離子體和反應性離子蝕刻，以及低壓化學氣相沈積。SLR系列提供易於使用的全自動機器,具有用戶友好的圖形菜單和觸摸屏界面。該工具包括集成真空資產、用於基材和晶圓處理的工藝機器人，並為蝕刻選擇性和蝕刻速率控制提供多種蝕刻工藝。它提供高精度的基板對準，快速的抗蝕蝕，圖案轉移具有優異的均勻性和可重復性。PLASMATHERM SLR系列還包括先進的過程控制功能，包括同時多參數控制、過程可追蹤性以及具有過程建模和模擬能力的高端軟件。該模型還集成了先進的計量能力，用於監測和優化工藝的可重復性和工藝控制，並提供一系列專門的塗層和硬化處理，以改善基材性能，增強對蝕刻和沈積工藝的保護。該設備還包括保護用戶和基板的各種安全功能。其中包括多種冷卻劑系統、臭氧管理、自動化過程監測和超壓保護。該系統還提供各種廢氣管理和過濾技術，包括過濾器壽命監測、車載清潔和維護程序以及智能報告功能，以存儲過程信息供今後參考。單反系列是一款功能強大、可靠、創新的蝕刻和ashing單元。它通過改進蝕刻選擇性、工藝重復性和工藝控制提供了出色的蝕刻效果,並提供了增強的安全功能和額外的計量功能。這臺機器是一個理想的選擇，為廣泛的蝕刻和灰化需求，從精密圖案設計到近原子尺度的設備。
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