二手 PLASMATHERM SLR 770 #293663077 待售

PLASMATHERM SLR 770
ID: 293663077
ICP Etcher.
PLASMATHERM SLR 770是一款高性能幹式蝕刻器和asher,提供卓越的控制、精度和可靠性。這種最先進的設備具有眾多專有功能,旨在實現業界最高的蝕刻速率。它非常適合用於生產半導體、MEMS元件、薄膜層和許多其他微加工工藝。該機由一個封閉的加工室、真空泵、控制系統和一個負載鎖定系統組成。它使用等離子體操作氣體和反應性氣體進行蝕刻和灰化過程,並且高度可調,能夠循環最多三種不同的氣體混合物。板載軟件提供了精確蝕刻所需的精度水平,並提供了一個優越的操作員界面。SLR 770配備了多種功能,使其成為生產的理想蝕刻器和asher。它是用雙頭眼睛構造的,它允許多個視圖角度,以便監控過程。此外,該設備是完全自動化的,以確保一致的操作和最高的效率.此外,還有一個光學窗口,操作員可以在不打開腔室的情況下查看該過程。該機器還具有先進的光學機器,利用它可以保持蝕刻過程的均勻性和控制性。這包括一組可以用來精確聚焦蝕刻等離子體和監控過程的激光器。它還提供精確的壓力調節以進一步優化蝕刻結果。PLASMATHERM SLR 770還帶有多種安全功能,如防止打開腔室的自動互鎖。此工具已通過CE認證,符合RoHS和WEEE標準。在發生意外火災或爆炸時,PLASMATHERM對安全的承諾進一步擴展到二氧化碳滅火資產。為確保達到最高性能和質量水平,SLR 770由獨立實驗室定期進行測試,以確保其運行符合法規要求。PLASMATHERM SLR 770幹蝕刻機和Asher具有先進的工業級設計,是確保生產過程中最佳零件蝕刻和灰化的完美工具。
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