二手 PLASMATHERM SLR 770 #9271304 待售

PLASMATHERM SLR 770是專門為半導體制造應用而設計的蝕刻設備。其目的是從矽片等基板表面蝕刻掉多余的材料層。SLR 770利用基於等離子體的技術進行高效、高精度和可重復的蝕刻。系統由三個主要部件組成，一個電極（即位於單元底部附近的大電極）、一個離子源和一個蝕刻室。蝕刻室本身由不銹鋼製成，密封。在腔室內部，通過一系列氣體通道引入蝕刻氣體，並從邊緣周圍的噴嘴發出。然後使用射頻發生器創建等離子體場，使蝕刻氣體被激活和電離。由於工藝效率高，可以更精確地控制蝕刻，實現可重復的蝕刻輪廓。PLASMATHERM SLR 770可以蝕刻出多種材料，包括矽、多晶矽、金屬、玻璃、氧化物和氮化物。板載真空泵在蝕刻時確保腔室在低壓環境下運行，從而實現更好的蝕刻性能、重復性和精度。此外，該裝置還有一臺自動晶片處理機，使基材能夠快速輕松地放置在蝕刻室中，然後再取出。SLR 770還包括高級控制功能,允許用戶編寫適合不同作業和任務的蝕刻協議。例如，用戶可以設置一個程序，在一定深度進行蝕刻，使用特定的氣體成分，或者使用特定的蝕刻速率。這樣就可以根據任何工作的需要量身定制工具。總體而言,PLASMATHERM SLR 770是一種功能強大的蝕刻資產,專為最嚴格的半導體制造應用而設計。它具有精確的控制、可重復的蝕刻配置文件和高級編程功能,可提供高效的各種材料蝕刻,並具有極好的重復性。