二手 PLASMATHERM SLR/ECR #9123962 待售

PLASMATHERM SLR/ECR是一種針對半導體制造過程中的精度和可重復性而設計的蝕刻器/asher。它是由各種等離子體工藝設備和解決方案的領先供應商PLASMATHERM生產的。SLR/ECR被用於各種蝕刻和灰化過程，並且由於其結合了單晶片和批處理，具有低汙染的最佳蝕刻和灰化性能。PLASMATHERM SLR/ECR非常適合各種形狀和材料的晶圓尺寸，提供廣泛的工作溫度；最高1300 °C蝕刻器/asher配有精確運動設備和遠程視覺系統，允許用戶實時監控過程並在必要時進行調整。遠程視覺單元還提供了遠程控制界面，允許用戶從遠程位置監控和控制蝕刻和灰化過程。SLR/ECR具有先進的氣體輸送機，可提供準確、穩定的流動和混合，實現精確、可重復的蝕刻和灰化結果。該工具還提供一系列嵌入式溫度傳感器,以確保工作條件一致。溫度傳感器還向用戶提供有關加工室內熱狀況的快速反饋,並防止過程過熱或冷卻。此外,PLASMATHERM SLR/ECR還具有多種安全功能,可在處理過程中保護用戶和組件。它配備了安全互鎖機制，以防止意外接觸有害物質，而遠程視覺資產則被監控任何尖銳的運動或壓力的突然變化。帶有防護罩的紫外線吸收窗可保護用戶免受潛在的紫外線輻射。PLASMATHERM SLR/ECR的設計符合半導體制造工藝中精度和可重復性的最高標準，是各種材料和晶圓尺寸的蝕刻和灰化工藝的理想選擇。其先進的氣體輸送模式、遠程視覺設備、溫度傳感器和安全特性使其成為工業和研究應用的絕佳選擇。