二手 PLASMATHERM / UNAXIS 700 Series #9201877 待售

ID: 9201877
Wafer batch plasma etcher deposition.
PLASMATHERM/UNAXIS 700系列是一種蝕刻器和asher設備,旨在制造各種具有精確控制的電氣、機械和電子元件。針對包括銅、鎢和鈦在內的先進材料的蝕刻進行了優化。該系統采用真空壓力脈沖(VPP)蝕刻技術,具有較高的蝕刻效率水平,提供高質量的效果。UNAXIS 700系列旨在成為生產或研發電子元件的高效解決方案。該單元提供基於預定運行時間、溫度、壓力和氣體類型的標準過程控制功能。它具有易於使用的用戶界面,有助於流程設置和監控。機器還設有多功能進程監視器,實時顯示所有相關數據,並允許在運行過程中調整參數。它還包括工藝配方,允許同時調整所有參數以實現精確控制。該工具具有手動控制功能,可用於選擇各個配方,以及幾種不同的預設程序,這些程序允許蝕刻具有不同結果的多個組件。自動配方優化(ARO)功能有助於縮短蝕刻時間,以最大限度地提高效率。它還有助於為每個配方選擇最佳參數,以提高產品質量。氣體混合管理(GBM)功能可確保向蝕刻室準確輸送氣體,提供一致、高質量的結果。PLASMATHERM 700系列設計用於可靠、可靠的操作。該資產已按照ISO 9001:2015標準設計,並符合各種安全準則和批準標準,包括CE、UL和CSA。該模型采用強大的真空泵來保證潔凈室的運行,並采用先進的熱管理技術來保護敏感部件。該設備還設計為提供較低的總擁有成本,具有簡單的維護協議和較小的足跡,便於放置在實驗室或生產環境中。700系列為用戶提供了一個高效、通用的蝕刻和灰化系統,用於生產和研究先進的電子元件。它具有強大的控制功能、易於使用的用戶界面以及用於精確操作的高級流程配方。它的設計目的是以成本效益高的方式提供可靠的結果,而且維護最少,占地面積很小。
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