二手 PLASMATHERM / UNAXIS 700 #9096334 待售

ID: 9096334
Reactive Ion Etcher (RIE) Pressure controller: PRM-1 RF generator supply: HFS 500 Mass flow control: MFC-5 Available options: LH D60 WS/WA 251 Blower 179 CFM blower package Vacuum hose and fittings.
PLASMATHERM/UNAXIS 700是一種先進的蝕刻器/asher設備,能夠非常精確和先進的蝕刻和灰化操作。它的工作原理是使金屬、聚合物和有機材料暴露於等離子體中的氧氣、氙氣、氮氣和氯化碳氫化合物,從而在表面產生反應性物質,從而迅速蝕刻和清除材料。該系統采用高精度多軸控制,使用多種工藝工具(包括單軸、交互式和多軸運動系統)進行精確蝕刻和灰化。該設備配備了可編程邏輯控制器(PLC)和用戶界面控制面板,允許對蝕刻和灰化參數進行編程和定制,並在復雜的工業生產過程中使用該設備。PLC易於用戶訪問,允許自定義編程、診斷和查看流程數據。用戶界面預裝了手動和半自動設置,還包括一個自動序列功能,可輕松設置多個參數。該單元構建在開放式體系結構硬件和軟件平臺上,提供了滿足任何客戶需求的過程靈活性和功能。開放式體系結構允許集成最新技術,包括高速過程控制、自動診斷和制造智能功能。該體系結構還包括一個功能強大且可擴展的基於組件的軟件套件,用於支持蝕刻器/asher操作。UNAXIS 700附有一臺先進的兩階段蝕刻/灰燼機,使用摩擦電面罩引導等離子體流動,允許在微小尺度上進行精確蝕刻和灰化。兩階段工具允許每個工藝步驟,包括在個性化設置中進行預刻、蝕刻和灰化,確保精確和準確的結果。此外,PLASMATHERM 700還提供先進的保護系統,以確保安全可靠的運行以及卓越的質量控制。這包括一種創新的自清潔機制,它可以消除室內的微粒積聚,防止汙染。為了獲得更高的質量,該設備具有進氣功能,允許將空氣排除在蝕刻/灰室之外,以獲得更純凈的結果。總體而言,700是一種功能強大且先進的蝕刻器/asher資產,可提供靈活性和精確度,以滿足任何工業蝕刻或灰化需求。結合其開放式體系結構、可編程邏輯控制器、兩級蝕刻/灰模型和先進的保護系統,是一種可靠高效的工作工具。
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