二手 PLASMATHERM / UNAXIS 7000 (EMS) #9258753 待售

UNAXIS 7000（EMS）是半導體工業中用於薄膜制造的先進蝕刻器和asher。它提供業界領先的最大吞吐量性能,以實現最高的效率。PLASMATHERM 7000的蝕刻和灰化工藝非常精確和一致,非常適合電子元件的生產。它具有很高的性能，這要歸功於其強大的真空蝕刻室和加熱線圈的組合，以快速和幹凈的灰化材料。雙工藝ETCH-ASH設備具有先進的工藝控制能力,並具有各種先進的技術測量精度和準確性。壓力控制精確，使系統產生均勻的結果。該過程可根據目標產品的要求針對各種配方進行編程。單位的高性能、耐用的冶金、高效的熱管理機，也使其長期使用可靠。PLASMATHERM/UNAXIS 7000 （EMS）還具有高級機器人,可精確精確控制運動。該工具有多個機器人插槽可用於定制配方,以產生最高質量、吞吐量最高的結果。資產還有一個集成的視覺模型，可以自動檢測部件，從而更好地控制過程。采用先進的氣體輸送系統，便於控制蝕刻性能。這種設備旨在為特定過程輸送不同的氣體流量。它還有一個用於控制等離子體過程的三面射頻發生器，以及一個遠程診斷面板以方便操作員。系統配有通知單元，在需要維護或維修時提醒操作員。安全也內置在這臺機器的設計中。該工具具有安全聯鎖,以防止未經授權的訪問。它還具有射頻導線，以確保操作員的輻射安全和保護。該資產設計為緊湊、清潔,移動部件最少,功耗低。總體而言,UNAXIS 7000 （EMS）是一款功能強大的蝕刻器和Asher,可提供高級性能、精確度和控制功能。它的高級功能和自動化流程使其高效可靠,同時其安全功能確保操作員得到適當的保護。它非常適合用於生產需要精確蝕刻和灰化的電子元件。