二手 PLASMATHERM / UNAXIS 760 #9314655 待售

來自UNAXIS的PLASMATHERM/UNAXIS 760 蝕刻器/asher是一個先進的技術室，設計用於等離子體蝕刻和灰化過程。UNAXIS 760通過在密閉室內創造高純度環境，提供了可靠和可重復的微處理。這種精密濕蝕刻器和Asher利用單端和/或雙頻高頻電源實現了高重復性和精密蝕刻和Ashing應用。PLASMATHERM 760具有隔熱蝕刻和灰化室，工作壓力在0.1至1 Torr之間，溫度在-20至100 °C之間。760的高精度蝕刻工藝由射頻偏置發生器和高級工藝控制模塊實現。可調翻蓋,直徑可達250毫米,便於安裝和卸載樣品。該單元可實現各種各向異性和各向同性蝕刻工藝,並可實現矽、二氧化矽、聚酰亞胺和其他材料的最佳蝕刻速率。PLASMATHERM/UNAXIS 760包含先進的安全裝置,如自動氣體安全關閉裝置、排氣系統安全裝置、過程壓力故障檢測裝置以及當前關閉裝置。該室還具有臭氧和二氧化碳洗滌器，可實現高重復性和低碎片室。該裝置的裝載機和機器人可以靈活、自動地處理晶片。UNAXIS 760上的一個機器人單元可以從至少4個擴展到最多8個卡帶槽，從而能夠自動掃描和蝕刻設備上的一批晶片。先進的ChamberView技術允許遠程訪問腔室,並允許用戶監視腔室控制參數、接收警報以及從任何位置發送命令。開放的基於Windows的平臺Monitor軟件是一個方便且用戶友好的平臺，用於監視、控制和記錄蝕刻過程。總體而言,來自PLASMATHERM的PLASMATHERM 760是高精度蝕刻和灰化應用的高效解決方案。760具有高精度控制、自動化晶片處理功能、先進的遠程訪問功能和精密的腔室設計,是滿足各種蝕刻要求的理想選擇。