二手 PLASMATHERM / UNAXIS 790 Series #293695530 待售

PLASMATHERM/UNAXIS 790系列是一款最先進的、基於等離子體的蝕刻器/asher，設計用於集成電路的批量處理。UNAXIS 790系列的設計旨在為具有汽車、顯示器、工業控制、醫療、3D打印和消費電子等廣泛行業的微觀結構和薄膜材料的蝕刻提供優越的周期優化生產能力。PLASMATHERM 790系列擁有93 cm x 61 cm的大腔室尺寸，最多可容納4個尺寸達8英寸的基板。790 Series的靈活性允許蝕刻器用於處理多種金屬、半導體和聚合物的多種材料，如鋁、銅、砷化​​、聚酰亞胺、多晶矽和矽。790能夠處理厚度在1mm至50微米之間的基板。PLASMATHERM/UNAXIS 790系列配備了用於快速交換基板的負載鎖定設備和用於確保多種基板均勻蝕刻工藝的基板表,提供了擴展的功能和快速蝕刻速率。UNAXIS 790系列能夠處理多達150種蝕刻配方，為用戶提供廣泛的蝕刻、灰化和剝離功能，並提供自動內壁清潔系統，減少蝕刻配方之間的汙染程度。PLASMATHERM 790系列提供了卓越的控制和精度,這是由一個用戶友好的界面實現的,該界面允許操作員使用高精度的儀表實時監控蝕刻過程,以測量壓力、腔室溫度和射頻功率,以及實時的工藝配方控制。790系列還有一個先進的絕緣控制單元，以減少顆粒汙染並確保一致、可靠的結果。PLASMATHERM/UNAXIS 790系列的維護要求極低,因為該機采用高性能過濾工具和補充疏散泵來設計,以確保最大的過濾效率。UNAXIS 790系列具有精確的安全資產,能夠檢測到任何故障,從而確保蝕刻過程的安全可靠。PLASMATHERM 790系列是一款下一代蝕刻機型,它提供了一套廣泛的功能、卓越的質量結果以及快速的生產周期。通過使用最新的等離子體技術,790提供了改進的過程控制和靈活性,同時保持了較低的維護要求,使其成為廣泛行業的無與倫比的蝕刻解決方案。