二手 PLASMATHERM / UNAXIS 790 Series #9225839 待售

PLASMATHERM/UNAXIS 790系列等離子體蝕刻器/分離器的設計滿足了半導體制造的需求。它在應用特定集成電路（ASIC）集成電路（IC）應用實現高精度等離子體蝕刻和灰化方面有著良好的記錄。UNAXIS 790系列采用低失真設計，采用了獨特的均勻等離子體分配技術。即使對於最具挑戰性的外形規格和應用程序,這也能確保較高的蝕刻和灰度精度。PLASMATHERM 790系列采用不銹鋼制造，具有行業領先的清潔操作和高精度蝕刻技術。高效的ICP電源、先進的冷卻設備和獨立的氣體輸送系統,為您的蝕刻需求提供了可靠可靠的平臺。790系列配備了用於精確晶圓檢測的高端攝像頭和觸控面板界面，便於使用，並進一步增強蝕刻工藝。可調光學系統加上高分辨率成像,可實現任何外形尺寸和應用的高精度蝕刻工具。PLASMATHERM/UNAXIS 790系列附有多種應用和蝕刻選項，包括反應性離子蝕刻、氧化物蝕刻和化學，反應性離子蝕刻工藝采用化學物質和離子的組合，達到表面損傷低的精確蝕刻效果。氧化物蝕刻使用氧化物層進行特定層蝕刻，從而可以精確控制蝕刻圖樣。UNAXIS 790系列的化學蝕刻特性被用於高通量蝕刻，並快速工作以達到準確的效果。PLASMATHERM 790系列還支持流程和工具監控功能,允許進行故障排除和性能評估。這為過程中監控和最終過程評估提供了一個易於使用和可靠的平臺。憑借對腔室壓力、氣流、射頻功率、蝕刻/灰分速率等方面的監控能力，用戶可以保證一致、優質的蝕刻效果。790系列提供了許多附加功能,以保持精確的蝕刻過程,例如壓力控制、溫度調節和腔室清洗。壓力控制可確保室內氣氛一致,而溫度調節則可確保最佳蝕刻和灰化性能。腔室清除功能有助於清除有害的顆粒和材料,從而保持腔室清潔。最後，PLASMATHERM/UNAXIS 790系列還包括一個先進的安全單元，它監測潛在的危險，並有助於減少發生事故和損壞的風險。UNAXIS 790系列為各種半導體應用中的蝕刻和灰化提供了可靠的平臺。它的低失真設計、ICP電源、先進的冷卻和氣體輸送系統，加上一系列蝕刻和監控功能協同工作，達到精確效果和一致的效果。考慮到質量保證和安全，以便為您的蝕刻需求提供可靠的機器。