二手 PLASMATHERM / UNAXIS 790 Series #9359353 待售

ID: 9359353
Reactive Ion Etcher (RIE) system NESLAB HX-75 Chiller EWARDS QDP40 Pump.
PLASMATHERM/UNAXIS 790系列蝕刻器/asher是一種先進的用於蝕刻和灰化應用的半導體加工設備。該蝕刻器/asher系統采用雙頻微波等離子體技術和高分辨率溫度控制相結合,實現了最佳蝕刻和灰化性能。UNAXIS 蝕刻器/asher支持批處理和單個晶片工藝進行蝕刻和灰化,使用戶能夠在蝕刻和灰化工藝之間快速切換。該裝置采用先進的壓力控制機進行設計,以確保最佳的蝕刻和灰化性能。該工具不僅有助於保持高度的準確性,還提供過程控制和可重復性。PLASMATHERM 蝕刻器/asher配備了強大的惰性氣體泵送資產,使用戶能夠有效控制腔室壓力和溫度,以優化蝕刻/灰化過程。該模型還通過幫助最大限度地減少背景氣體的積聚來幫助提高過程的性能。設備還配備了溫度控制器,以保持蝕刻器/asher內的精確控制環境,增強蝕刻和ashing性能。PLASMATHERM/UNAXIS 蝕刻器/asher專為可定制端點控制(EPC)而設計,以確保每個蝕刻和灰化過程的精確結果。EPC允許用戶設置諸如蝕刻時間和溫度以及每個進程的功率級別等參數。這樣可以更好地控制蝕刻和灰化性能,並提高過程的可重復性。UNAXIS 蝕刻器/asher還帶有先進的安全功能,如確保人員安全的聯鎖系統,以及防止該單位未經授權操作的門鎖定。該機器的設計符合半導體行業的最高安全標準,以防止事故和工藝性能下降。總體而言,UNAXIS 790系列是一個高級蝕刻器/asher工具,旨在提供高性能蝕刻和灰化結果。該資產旨在提供精確、可重現的結果、廣泛的端點控制功能和先進的安全功能,使其成為生產和研究處理的理想選擇。
還沒有評論