二手 PLASMATHERM / UNAXIS 790 #293597269 待售

PLASMATHERM/UNAXIS 790是一種自動蝕刻器和asher。它設計用於使用射頻（RF）能量對直徑不超過150 mm的基板進行蝕刻和灰化。適用於晶圓蝕刻、表面清潔、光刻和微電子器件制造等多種應用。UNAXIS 790具有易於使用的界面和全自動處理系統。其先進的工藝控制算法確保了基板表面的均勻蝕刻和灰化結果。腔室可以用30W RF電源閃爍，也可以設置為較低的功率級別（200W）以延長腔室壽命。壓板溫度可在100至400°C之間調節，腔內壓力可在0.1-1.0mbar之間調節。基板溫度也可以監測調節。基板沈積時間、蝕刻速率、基板溫度等工藝參數可輕松設置和調整。工藝氣體和濃度也可以控制，PLASMATHERM 790可以配置為使用幹燥工藝氣體或液體等離子體。現有各種氣體和液體組合，包括O2和XeF2、H2/SF6、SF6/D2、Ar/CF4/CO2和Ne/CO2。790帶有一個內置的過程監控和數據收集系統，記錄重要的過程信息，包括溫度、壓力、持續時間和射頻功率。可以實時查看這些數據,從而可以快速輕松地優化過程。其多模式控制使批處理效率倍增，導致吞吐量更高。內置的安全功能確保安全和符合適用的安全法規。PLASMATHERM/UNAXIS 790是用於研究和工業應用的可靠、高效的蝕刻和灰化解決方案。其精密的流程控制、自動化的維護系統以及先進的流程監控和數據收集功能確保了高質量的結果,而操作員的幹預卻很少。