二手 PLASMATHERM / UNAXIS 790 #9156667 待售

ID: 9156667
晶圓大小: 8"
優質的: 2001
PECVD system, 8" Non-load lock Heated lower electrode Water cooled / heated chamber Advanced Energy RF5S 500W 13.56 MHz power supply with match work Windows OS 208 V, 60 A, 50/60 Hz 2001 vintage.
PLASMATHERM/UNAXIS 790是一種先進的、高性能的平行板無嚙齒輪蝕刻器/asher設備。它是為復雜表面的可靠、經濟的蝕刻而設計的。UNAXIS 790有助於快速蝕刻直徑達250毫米的基板,同時提供高精度操作。它具有一個由靜態電極、固定動態電極和獨立可掃電極組成的兩個獨立系列蝕刻和灰化電極的工藝室。這為用戶提供了蝕刻圖案的靈活性,允許對任何曲面幾何進行統一或選擇性的蝕刻。PLASMATHERM 790配備了直觀的自動化控制系統,包括多種遙控選項。設計方便組裝、操作和維護。它具有緊湊的占地面積,使其能夠適應大多數實驗室設置。圓滑和高度集成的單元提供可靠和精確的蝕刻具有極好的可重復性。790利用四個獨立的氣體分配系統,使用戶能夠調整不同氣體的流量和混合,以實現精確的蝕刻控制。該機器能夠輕松集成不同的等離子體源,如射頻(RF)、紫外線(UV)和直流電(DC)等離子體源,提供廣泛的蝕刻能力。優化的負載鎖定工具增加了工藝的多功能性,允許快速交換底物和再現結果。PLASMATHERM/UNAXIS 790還具有廣泛的蝕刻和沈積配方,使得為特定應用定制蝕刻參數變得容易。該資產采用了多種先進的安全功能,如過溫和過壓保護,確保模型始終高效、安全地運行。該設備為長期穩定蝕刻而設計,在蝕刻區域內具有極好的均勻性。此外,UNAXIS 790還配備了方便用戶的綜合數據記錄系統,便於監測蝕刻結果。總體而言,PLASMATHERM 790是需要可靠、精確和經濟高效的蝕刻和灰化結果的實驗室的理想蝕刻單元。該機集先進的設計特點、簡便的設置和操作以及優異的可重復性和安全性於一體,是任何實驗室的理想選擇。
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