二手 PLASMATHERM / UNAXIS 790 #9157170 待售
網址複製成功!
ID: 9157170
晶圓大小: 8"
優質的: 2000
ICP etcher, 8"
Manual load
Non-load lock
Single chamber
Advanced energy RF5S- 500W RF power supply for lower electrode
AM5 match work and controller
Advanced energy RF10M - 1000W RF power supply for upper electrode
AM10 match work and controller
Leybold 361C turbo pump with 150/360 controller
HP 919 Hot Cathode Ion gauge controller
(6) MFCs, He backside wafer cooling, Clamp style chuck
2000 vintage.
PLASMATHERM/UNAXIS 790是一款高級蝕刻器/asher,專為高精度蝕刻應用而設計。此創新工具利用最新技術,以可靠的質量提供卓越的性能。其強大的等離子體發生器能夠提供高達UNAXIS 790 W的等離子體功率,具有可變的光束軌跡,非常適合蝕刻具有多種粘附特性的各種材料和基板。機器配備了PC控制的流程管理軟件,可以對流程周期進行編程,設置輸出參數,監控設備性能。此外,軟件允許操作員通過精確的氣體引入來精確控制腔室溫度。它具有高度靈活的設計,允許廣泛的工藝參數和基板配置。PLASMATHERM 790具有25公升的腔室容量、5公斤的裝藥容量和塔式工作區,容量可達400 °C。它還配備了先進的非接觸式控制系統,監控必要的參數技術和工藝。這種蝕刻器/asher還帶有雙脈沖和反應性離子蝕刻工藝控制,為化學蝕刻、沈積和蝕刻應用提供了無與倫比的精度。此外,這臺高度自動化的機器還具有等離子體活化和自動氣體純度監測等多種自動化系統。790有觸摸屏操作面板、數字顯微鏡、自動缺陷檢測單元等多種用戶友好的配件可供選擇。這些附加組件提供了完整的過程控制和卓越的機器性能。此外,該設備還提供全面的服務和支持包,其中包括全天候遠程診斷、維護和聯機幫助。這樣可以確保設備始終以峰值性能運行。PLASMATHERM/UNAXIS 790是蝕刻和粉刷各種材料的完美工具。其先進的特點、健壯的構造和用戶友好的設計使其成為任何蝕刻或灰化工作的理想之選,無論是大規模完成還是小型研究項目。
還沒有評論