二手 PLASMATHERM / UNAXIS 790 #9375333 待售

PLASMATHERM/UNAXIS 790是UNAXIS/PLASMATHERM開發的一種蝕刻/ashersystem，用於高級包裝應用的基板蝕刻和灰化。該設備是一個緊湊的臺式平臺，利用深反應性離子蝕刻或幹蝕刻技術對各種材料進行蝕刻和灰化。它結合了高蝕刻精度、重復性和高吞吐量等優點，適用於要求最苛刻的應用。該系統是一個單室單元，可支撐多種基材，可用於包括Asher和Dry Etch在內的多種蝕刻工藝。它提供了優化的腐蝕性氣體輸送和堅固的室內射頻發生器，可用於高通量、可重復蝕刻/灰化過程。射頻發生器產生的等離子體用於產生高離子和高能粒子，以蝕刻和灰分各類底物。該機由高壓控制器和用於監控工藝參數的先進軟件工具控制。該資產還具有真空控制器和壓力監控器，以確保準確和可重復的蝕刻和灰化。最後，該模型還具有一系列安全特性，包括門互鎖、氣體泄漏探測器和氣體報警設備。這些安全功能通過防止危險煙霧和氣體的意外釋放來確保使用者的安全。總體而言，UNAXIS 790是一個用途廣泛、可靠的蝕刻/灰化系統，可用於各種高級包裝應用。它為要求最苛刻的生產應用程序提供高吞吐量和可重復性。