二手 PLASMATHERM / UNAXIS Batchtop VII #9123993 待售

ID: 9123993
晶圓大小: 6"
優質的: 1994
PECVD system, 6" Table top RIE Operating software: Windows Lower electrode RIE, 6" Advanced Energy RFPP-RF5S (500 W-13.56 MHz) RF Power supply with AM5 Matchbox and tunner (3) Mass flow controls 208 V, 60 Hz 1994 vintage.
PLASMATHERM/UNAXIS Batchtop VII是一款先進的蝕刻器和asher,其獨特的設計目的是為各種材料提供精確可靠的加工性能。這種蝕刻器和灰化器能夠處理所有材料,包括金屬、聚合物、陶瓷和石英,以及更復雜的多指令蝕刻。通過各種計算機控制過程,這臺機器能夠精確地將精確的特征刻蝕到各種基材和零件上。UNAXIS Batchtop VII使用等離子體或反應性離子蝕刻(RIE)在基板上蝕刻有圖樣的層和特征。為了獲得最高精度,該機采用了一種介電等離子體,該等離子體保持低壓力、高均勻性、高工藝速率和高選擇性。這樣可以確保精確蝕刻的層是均勻且高度詳細的。這臺機器的設計具有最大的靈活性和適應性。它易於配置,可以根據任何用戶的需要和首選項進行定制。PLASMATHERM Batchtop VII配備了快速釋放組件,便於維護和維修。該機還支持多配方管理,方便蝕刻配方之間的換乘。Batchtop VII包括安全功能,可確保蝕刻器和asher的安全操作。這臺機器設計為ESD安全,包括內置電離風扇,以幫助減少汙染。該機器還包括一個互鎖系統,可確保腔室的正確操作,並提供針對等離子體產生的場的完全保護。此外,機器還配備了預測性維護系統,在出現問題時向用戶發出警報。該機器內置傳感器,用於監視過程,可用於排除問題。此外,PLASMATHERM/UNAXIS Batchtop VII還配備了實時流程追蹤功能,允許用戶查看每個作業的蝕刻歷史記錄。總體而言,UNAXIS Batchtop VII是一款非常先進的蝕刻器和asher,旨在提供精確可靠的蝕刻和灰化性能。這臺機器能夠蝕刻各種材料,靈活的設計可以方便維護和定制。該機還包括多種安全特性和預測性維護系統,確保運行安全可靠。
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