二手 PLASMATHERM / UNAXIS Series 70 #293664981 待售

PLASMATHERM / UNAXIS Series 70
ID: 293664981
Dry etcher Control system non-functional.
PLASMATHERM/UNAXIS Series 70是一種成本效益高、先進的asher/Etcher設備,專為各種基材的快速、精確的蝕刻和灰化工藝而設計。適用於一系列行業,包括半導體、電子元器件、通用工程、醫療器械行業。UNAXIS系列70由基板溫度控制(STC)和閉環反饋(CLF)構成。這些特性可以通過精確控制基板溫度來實現更高的蝕刻和灰度精度和均勻性。STC還有助於增強蝕刻過程,從而能夠更準確有效地控制蝕刻速率和均勻性。PLASMATHERM系列70提供高級蝕刻和灰燼處理功能。它能夠在一個周期內同時蝕刻和或灰化多達80個晶圓。蝕刻器/asher設計有幾個加工室,允許同時蝕刻和/或灰化多達80個晶圓。腔室還配備了自動晶片對準能力,使蝕刻器/asher能夠將晶片精確移動到所需的位置,防止晶片在過程中旋轉。此外,70系列還配備了自動晶片拾取系統,可安全、快速、準確地加載蝕刻和/或灰化工件。PLASMATHERM/UNAXIS系列70還具有直觀且用戶友好的基於Windows的平臺。該平臺為操作員提供了根據自己的獨特要求定制蝕刻和灰燼工藝的能力。該單元還包括一大堆可以設置和調整的不同參數,以優化過程的性能。UNAXIS 70系列的設計具有很高的可靠性和耐用性,非常適合各種行業的高需求應用。其強大的設計和卓越的制造質量確保了機器能夠處理在各種生產環境中的連續使用。它的靈活性還使PLASMATHERM Series 70成為需要較小批量生產或頻繁更改蝕刻和灰化參數的應用的理想選擇。Series 70是一款經濟實惠的高級蝕刻器/asher工具,專為各種基板的精密蝕刻和灰化而設計。該資產配備了各種功能,如基板溫度控制和閉環反饋,使基板溫度的精確控制成為可能。它能夠同時蝕刻和/或灰化多達80個晶圓,並且包括一個直觀且用戶友好的基於Windows的平臺。PLASMATHERM/UNAXIS系列70的設計具有很高的可靠性和耐用性,非常適合各種行業的高需求應用。
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