二手 PLASMATHERM / UNAXIS Shuttleline #9351989 待售

PLASMATHERM/UNAXIS Shuttleline是一種創新的濕蝕刻器/asher，用於微電子和納米技術行業。UNAXIS Shuttleline有一個單一來源、低成本的晶片處理平臺，可同時處理多達20個晶片，並有可選的蝕刻/灰化配方。它被設計為一個獨立的單元，包括單晶片預清潔和後清潔站，以及可選的批量浸入預清潔和後清潔系統，可以升級以提高吞吐量。工藝室具有高達250攝氏度的高溫選項、用於不同蝕刻/灰化配方的靜態或動態室,以及通過現場工藝控制監控工藝事件的功能。PLASMATHERM Shuttleline設計用於處理各種晶圓尺寸和材料,能夠處理多達150 mm晶圓尺寸。Shuttleline還設有「防鎖室」，以減少處理時間，提高吞吐量。此外，PLASMATHERM/UNAXIS Shuttleline配備了配方管理設備，用於存儲和回收用戶定義的配方，以及內置數據采集和分析系統，該系統能夠捕獲層壓工藝圖像，供以後分析。除了先進的功能外,UNAXIS Shuttleline還結合了靈活性和易用性設計,具有可互換的晶圓載體和自動診斷功能,便於快速維護。此外，該裝置還配備了一整套安全功能，包括緊急壓力關閉機和自動水關閉閥，以防止可能的有害物質釋放和設備損壞。最後,PLASMATHERM Shuttleline的開放體系結構允許為自定義應用程序輕松與其他系統集成。總體而言,Shuttleline濕蝕刻器/asher是一種非常先進且可靠的蝕刻/灰化設備,非常適合微電子和納米技術行業。它兼具靈活性、安全性、成本效益和易用性,是任何蝕刻/灰化工作的理想選擇。