二手 PLASMATHERM / UNAXIS SLR 720 #9201916 待售
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PLASMATHERM/UNAXIS SLR 720是一種先進的等離子體蝕刻和灰化系統，用於半導體制造。它能夠進行幹蝕刻以產生納米級的特征，同時保持良好的工藝重復性和生產產量。蝕刻器/asher有自己的高端控制器，並配有30英寸的等離子體源，允許最大蝕刻容量為20w/cm2。它采用高性能、多任務、真空系統,能夠快速切換蝕刻參數,同時保持穩定的工藝環境。其先進的蝕刻技術使蝕刻工藝能夠精確控制到亞納米分辨率。該單元具有直觀的用戶友好圖形用戶界面（GUI）和實時流程信息傳遞功能。UNAXIS SLR 720利用其自我監控系統，可以實時檢測和調整工藝條件。它通過調整離子能量、氣體壓力和冷卻等領域的參數，提供了先進的工藝優化。蝕刻器/asher內置了診斷和狀態監控系統，可以及時檢測可能出現的問題，保證最終產品的高質量。配備防汙和內置安全系統，確保設備安全運行。該單元具有寬闊的工藝窗口，可用於在高達500攝氏度的溫度下蝕刻和粉刷電介質、砷、矽、金屬、聚酰亞胺等材料。它的自動化過程允許基板兼容性和均勻的材料去除,而不會損壞基板.它具有生產深溝槽、蝕刻圖案、微通風和小至0.25微米的裝置特性的多功能性。總之，PLASMATHERM SLR 720是一種先進的蝕刻器/灰化器，能夠以納米分辨率生產高質量和可靠的零件。憑借其直觀的用戶界面、自動化的流程、內置的安全和診斷系統,它可以在時間和經濟高效的方式上為用戶提供可靠的結果。
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