二手 PLASMATHERM / UNAXIS SLR 720 #9229827 待售

PLASMATHERM/UNAXIS SLR 720是為精密等離子體蝕刻和灰化應用而設計的蝕刻/灰化裝置。針對包括矽、石英、半導體、藍寶石等材料在內的基板進行2D或3D蝕刻和灰化優化。UNAXIS SLR 720利用UNAXIS串聯等離子體蝕刻技術（IPE）提供準確和可重復的高通量工藝結果。該裝置有一個可容納720個晶圓的CVD腔室。它具有直接驅動的負載鎖和高重復性，調壓智能系統在保持無顆粒環境的同時動態調節壓力。蝕刻室具有可調的工藝壓力，並配有PLASMATHERM MHD精密等離子體源。這提供了非常高的蝕刻速率，同時保持了極好的選擇性與各種蝕刻氣體，包括SF6，CF4，CF2Cl2，和許多其他。該裝置配有電子質量流量控制器，用於精密給藥蝕刻和灰化氣體，以及在蝕刻和灰化過程中控制基板溫度的能力。此外，該系統支持高精度羽狀成像技術，主動監測蝕刻過程，調整蝕刻配方，以提高穩定性和精度。它還具有高實時快速調諧功能,可快速優化流程參數。在安全方面，該機組配備了多種工藝壓力控制功能和眾多的壓力安全傳感器。這樣可確保人員和敏感樣品的安全環境,同時降低過程失敗的風險。再者，該機組具有有效的CO2冷卻系統，以確保過程環境穩定。總體而言，PLASMATHERM SLR 720是一個用途廣泛的蝕刻/asher單元，設計用於精密等離子體蝕刻和灰化應用。它具有多種安全功能和先進的過程控制,允許重復和可靠的過程結果。