二手 PLASMATHERM / UNAXIS SLR 720 #9270532 待售

PLASMATHERM/UNAXIS SLR 720是一種先進的蝕刻器/asher設備,能夠在各種基板上進行精確的圖樣化。該系統采用先進的離子束和等離子體技術，在包括金屬、聚合物和陶瓷在內的廣泛材料中實現高精度蝕刻和灰化。UNAXIS SLR 720利用混合氣體工藝優化蝕刻速率，同時盡量減少有害材料的汙染和沈積。PLASMATHERM SLR 720的設計可以容納直徑最大7英寸的基板，並且可以在簡單的負載鎖室變化下對多個零件進行批量蝕刻。該單元包括一個專利傾斜階段設計允許光刻被用於直接蝕刻在基板的各層。這樣可以比其他系統更精確、更精確地蝕刻復雜的圖案和結構。機器還提供一系列功能,以確保過程一致。該工藝室具有主動壓力控制功能，可進行精確的壓力調整，以適應不同的蝕刻速率和基板。它還包括用於提高蝕刻速率的真空泵和更均勻的各種材料圖樣蝕刻。該工具還具有串聯溫度和氣流控制功能，可實現準確的過程控制和基板分析。SLR 720還提供了一套自動化的數據采集功能，以及一個便於數據管理和分析的集成軟件資產。這使用戶能夠輕松地捕獲和分析流程結果、識別錯誤並確保結果的可重復性。該軟件還包括一些功能，可幫助用戶自動化其工藝，並優化特定基板和應用的蝕刻參數。PLASMATHERM/UNAXIS SLR 720除了具有蝕刻器/asher功能外，還包括高級型號控制，以方便各種診斷功能。這包括基板表征、溫度分析和閾值分析。這允許用戶在過程中發現問題並在出現質量問題之前采取糾正措施。總體而言，UNAXIS SLR 720是一種先進的蝕刻器/asher設備，能夠在各種材料中進行可靠和精確的制圖。它的集成軟件和高級控制功能使用戶能夠輕松監控過程並確保結果的可重復性。該系統是從研究到生產等廣泛應用的理想解決方案。