二手 PLASMATHERM / UNAXIS SLR 720 #9270613 待售
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PLASMATHERM/UNAXIS SLR 720是一款針對需要高產吞吐量和卓越工藝性能的用戶而設計的蝕刻器/asher。UNAXIS SLR 720提供卓越的性能,使用戶能夠獲得更高的產量,同時最大限度地提高吞吐量。PLASMATHERM SLR 720具有獲得專利的遠程等離子體源技術,提供增強的工藝能力和高精度控制。SLR 720也非常適合低k應用,因為它提供了更高的選擇性。PLASMATHERM/UNAXIS SLR 720的等離子體源提供了高級蝕刻功能和卓越的雙向控制,使用戶能夠根據其確切的應用需求調整其過程。它具有板載、高功率的10瓦射頻發電機,可提供高性能、穩定的蝕刻。射頻發生器的0-150kHz總範圍允許用戶微調其工藝以獲得最佳效果,從而確保卓越的蝕刻均勻性和表面光潔度。UNAXIS SLR 720還通過其專利噴霧/旋轉應用提供了卓越的塗層能力。噴霧/自旋應用提供了出色的覆蓋範圍和均勻性,使用戶能夠在整個基板上實現均勻塗層的稀薄和惰性大氣的均勻性。它還提供了AR塗層或氯烤盤的選擇,允許用戶選擇提供最佳結果的應用的最佳選擇。PLASMATHERM SLR 720還具有先進的O2-ion轟擊功能,使用戶能夠實現出色的蝕刻選擇性和蝕刻速度。O2-ions轟擊還有助於降低缺陷密度,提高工藝穩定性和產量。單反720也與一系列標準基板兼容,如石英和藍寶石。PLASMATHERM/UNAXIS SLR 720的設計考慮了用戶,為具有各種流程要求的用戶提供了一系列靈活性。它專為易於使用而設計,具有直觀的用戶界面,允許用戶快速設置、配置和監視其流程。UNAXIS SLR 720的高級診斷和分析工具可幫助用戶發現流程問題並查明可能的改進領域。PLASMATHERM SLR 720是尋求高產量蝕刻器/asher的用戶的絕佳選擇,該蝕刻器/asher可以產生質量最高的結果,並具有卓越的工藝性能。憑借其一系列的高級功能,用戶能夠根據其確切的應用程序需求對流程進行微調,從而優化其產量、質量和生產效率。
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