二手 PLASMATHERM / UNAXIS SLR 720 #9270614 待售

PLASMATHERM/UNAXIS SLR 720是業界領先、先進的蝕刻和灰化設備,專為廣泛的基於等離子體的晶圓加工應用而設計。其特點使其既適合研發又適合生產使用。UNAXIS SLR 720的大腔室直徑為11英寸（270mm），能夠處理全尺寸300 mm晶圓。該建築由超高壓和低壓等離子體帶組成，隔離獨立，允許更高的工藝靈活性。該系統包括一個全長基板加熱單元，確保在盡可能低的溫度下蝕刻和灰分均勻。該室配有端點探測裝置，以感知過程完成。機器的高壓區域的功率水平可達1000W。它具有數字浮動功率控制與自動調頻（AFT），有助於保持過程的準確性和可重復性。它還包括可調節的射頻調諧點，增強均勻性和可重復性。該工具還能夠進行現場壓力監測，以確保高流程穩定性和運行之間的一致性。另一方面，低壓區的峰值功率高達300W，並有兩條獨立的流控氣線。最多可實時控制四種前體的氣體組成和輸送。低壓蝕刻化學的獨特之處在於其蝕刻幹燥的能力，適用於包括抗蝕劑、蝕刻和厚度控制過程在內的多種工藝。其中包括遙控泄漏閥，以確保操作過程中的安全。PLASMATHERM SLR 720還提供了幫助用戶監控蝕刻和灰分工藝關鍵晶片特性的功能。它監視溫度、等離子體暴露、射頻功率和腔室壓力。此外,它還具有端點檢測（EPD）功能,可以指示任務的完成並防止晶圓的過度處理。SLR 720 蝕刻器/asher是一款行業領先的資產,兼具魯棒性、靈活性和精確度。這款多合一工具可用於多種應用，提供卓越的效率和性能。PLASMATHERM/UNAXIS SLR 720具有易用性和高精度和精確度,是任何希望創造高質量、可靠晶片產品的人的絕佳選擇。