二手 PLASMATHERM / UNAXIS SLR 730 #293660356 待售

PLASMATHERM/UNAXIS SLR 730 蝕刻器/asher是一種高度精確、功能強大的半導體行業矽片蝕刻和灰化生產工具。它配備了新設計的8室工藝室和較大的工藝區域，以從生產線工藝配方中獲得最佳的蝕刻和灰化性能。它為高真空和低壓下的批量生產提供了更高效的工藝效果，並提供了最佳的均勻性和可重復性。UNAXIS SLR 730配備了可靠的射頻發生器，確保在深度、輪廓和表面光潔度方面具有均勻性的精確和堅固的蝕刻。由於其先進的線性運動系統和調諧頻率，它能夠通過高分辨率和可重復的工藝在直徑達300 mm的晶片上進行蝕刻。最先進的計算機控制自動調諧控制可確保所有空腔之間的均勻性和蝕刻時間。而且，PLASMATHERM SLR 730采用了獨特的氣體輸送系統，有助於確保最佳氣流以實現蝕刻均勻性。該系統有助於提供來自所有腔室的均勻氣體分布和向腔室的均勻流量，從而提高高真空和清潔過程中的氣體利用效率。此外，SLR 730采用模塊化接口和部件，如腔室、過濾器管、支撐結構、輸送機以及真空和氣體輸送管線。它還結合了一個模塊化的可編程邏輯控制器（PLC），處理時間臨界的過程控制和傳感，並提供動態顯示、參數調整和追溯機制。為確保最高的可靠性和安全性,PLASMATHERM/UNAXIS SLR 730 蝕刻器/Asher采用不銹鋼內部和外部設計,為故障安全、帶墊圈的法蘭、電子鑰匙鎖、泄漏檢測器和溫度傳感器在關鍵功能部件上內置冗余。它還符合所有適用的安全和健康條例和標準。