二手 PLASMATHERM / UNAXIS SLR 740 #9224550 待售

PLASMATHERM/UNAXIS SLR 740是一款蝕刻器/asher，通過使用高精度控制和先進的工藝測序設備設計，具有更高的生產率、卓越的穩定性和更好的產量。這種蝕刻器/asher能夠以高達每小時18,000晶圓的速度處理各種簡單和復雜的基材。它能夠在蝕刻和後蝕刻清洗過程中取得優異的效果。UNAXIS SLR 740采用創新的「雙軸」設計，結合了兩個旋轉階段，以確保理想的最終效果。這種雙軸設計降低了扭矩和振動，提高了蝕刻工藝的精度，為更精致的基板提供了高精度。PLASMATHERM SLR 740以其精確的模式定義,確保了優越的模式傳遞和響應時間.利用先進的工藝控制系統對蝕刻深度進行精確的控制。單反740的電光單元也使用先進的阻抗技術來持續監控蝕刻過程。本機檢測晶片基板上的顆粒和氣體缺陷，並自動調整蝕刻時間、氣體流量和批量大小，提供優越的工藝控制。PLASMATHERM/UNAXIS SLR 740還具有利用等離子體活化提高蝕刻速率和產量的射頻發生器。射頻發生器可實現高蝕刻速率和低工藝溫度，從而最大限度地減少晶圓損傷和熱膨脹引起的構象變化。UNAXIS SLR 740還包括一個先進的供暖管理工具，允許用戶設置室內和基板溫度，以確保最佳性能。PLASMATHERM SLR 740強烈降低溫度波動和過程波動，即使在長時間蝕刻過程中也能獲得更高的產量和更好的重復性。總體而言,單反740是加工高精度基板和材料的理想蝕刻器/灰化器,安裝時間最短,產量更高。其雙軸設計、先進的工藝控制資產和射頻發生器提供了卓越的工藝控制和最佳的蝕刻速率，以獲得優異的最終效果。