二手 PLASMATHERM / UNAXIS SLR 740 #9284674 待售

PLASMATHERM/UNAXIS SLR 740是一種先進的蝕刻器/Asher，設計用於MEMS和微制造應用中板和晶片的超精密等離子體蝕刻和粉刷。它能夠產生至少0.2米尺度特征μ圖案，同時提供優於磨料方法的可重復性。該設備采用脈沖直流等離子體源和高分辨率壓差系統進行工程設計，以創建和維持一個靠近表面的壓差區域，進行蝕刻和粉刷。這樣可以更好地控制等離子體護套和降低材料的溫度蝕刻/灰化。UNAXIS SLR 740還包括一個多級等離子體蝕刻/灰化技術，以加強過程控制和提高質量。該設備的高級功能包括高精度和可重復的高固體射頻發生器,以確保一致和可靠的蝕刻、灰化和成像,並具有低成本的每個特征。此外，該機器還配備了一個專用的連續氣體輸送模塊，可用於多種氣體裝置。這對於需要低溫蝕刻/灰化的應用非常理想，並將確保一致和準確的等離子體結果。該工具還包括Vector Plus控制和合規性軟件,該軟件提供無限的配方和配方安全性,以及一個智能、用戶友好的圖形界面,用於監視和記錄所有與流程相關的參數。該資產還與一系列UNAXIS和nonPLASMATHERM自動化處理系統和真空技術兼容，以提高靈活性和更快地利用工具。PLASMATHERM SLR 740能夠蝕刻/粉刷各種材料,包括矽、藍寶石、多晶矽和鋁,並且能夠產生0.2 μ m或更低的最小特征尺寸,是您所有MEMS和微型制造應用的智能選擇。