二手 PLASMATHERM / UNAXIS SLR Series #293777485 待售

PLASMATHERM/UNAXIS SLR系列是一個尖端的等離子體蝕刻器/asher系統，旨在滿足半導體和薄膜行業苛刻的蝕刻和清潔要求。作為等離子體處理設備領域的領先解決方案，該系列為從先進的微電子到光電子等廣泛的應用提供了無與倫比的性能、精度和可重復性。UNAXIS SLR系列的核心是其先進的等離子體處理技術，能夠精確控制蝕刻和清洗過程。設備利用高密度等離子體源，通常是射頻（RF）或微波源，產生與被加工材料表面發生反應的等離子體。這種等離子體可以配置為提供多種化學物質，使不同材料的選擇性蝕刻或灰化具有很高的選擇性和均勻性。PLASMATHERM SLR系列的關鍵亮點之一是它在容納各種基材尺寸和類型方面的多功能性。該系統可以支持從小樣品到大半導體晶圓的基板，使其既適合研發又適合生產環境。此外,該單元還提供了一系列處理模式,包括用於高通量應用程序的批處理和用於精確控制單個樣品的單晶圓處理。在工藝能力方面，單反系列在蝕刻和灰化應用方面均表現出色。蝕刻包括有選擇地從基板表面去除材料，創建設備制造所需的精確特征和圖樣。該機先進的工藝控制能力保證了高蝕刻速率、卓越的均勻性和優越的選擇性，非常適合制造具有亞微米特性尺寸的先進半導體器件。另一方面，灰化涉及從基板表面去除光致抗蝕劑或其他有機汙染物。PLASMATHERM/UNAXIS SLR系列提供高效的灰化工藝,對底層材料的損害最小,確保設備制造的高產率和可靠性。該工具的等離子體化學控制允許輕柔而有效地去除有機層，提高加工底物的整體清潔度和質量。此外，UNAXIS SLR系列還配備了先進的自動化和過程監測功能，以提高生產力和可靠性。資產包括精密的氣流控制、溫度調節和端點檢測能力，以確保精確的過程控制和可重復性。此外,實時流程監控和數據記錄使用戶能夠跟蹤流程參數並優化流程配方以獲得一致的結果。總之,PLASMATHERM SLR系列是一款最先進的等離子體蝕刻器/asher模型,為各種半導體和薄膜加工應用提供了無與倫比的性能、靈活性和可靠性。憑借其先進的等離子體處理技術、通用的底物處理功能以及全面的過程控制功能,本系列是尋求針對其要求最苛刻的應用而提供卓越蝕刻和灰化解決方案的組織的首選。