二手 PLASMATHERM / UNAXIS SLR #9250539 待售

PLASMATHERM/UNAXIS SLR是UNAXIS公司為高端應用設計的先進蝕刻和灰化設備。它是一種高性能的幹蝕刻工具，具有多腔室設計和多蝕刻和灰化系統。它有一個高真空室，允許各種材料的沈積和蝕刻形成錯綜復雜的結構和圖案。該工具還具有高速多級平面化系統，用於控制線條之間的間距，並創建精確的圖案，以縮短處理時間。它還具有快速更改蝕刻和灰化時間以及流程的功能,以優化流程性能。腔室可以標示出多種蝕刻和灰化系統，所有這些系統都能夠在高壓和高溫下運行。通過這樣做，設備能夠對不同的晶片和基板應用不同的蝕刻和灰化工藝。該機器還能夠應用多個蝕刻步驟，以創建復雜結構的高分辨率模式。結合強大的燃氣工具和先進的光學系統，該資產能夠對缺陷率低、重復性和均勻性高的材料進行蝕刻和灰化處理。該模型還可以在最高壓力和低溫下應用工藝，以避免過熱和氧化。該設備可對單面和雙面基板、液晶顯示器、薄膜、金屬等材料應用各種蝕刻和灰化工藝。它還有一個自動運行的系統和糾錯裝置，可以提高蝕刻/灰處理的生產率。UNAXIS SLR還配備了高端晶圓對準機，以確保基板的精確對準，這對於高分辨率模式至關重要。總體而言，PLASMATHERM SLR是一種先進的蝕刻和灰化工具，可用於各種應用，從蝕刻復雜復雜的圖案到灰化液晶、薄膜、金屬等等。它還具有在高壓和低溫下處理的能力,並具有自動晶圓對齊和運行到運行的系統,確保了準確和可重復的過程以及高生產率。