二手 PLASMATHERM / UNAXIS SLR #9262446 待售

PLASMATHERM/UNAXIS SLR是一款高級蝕刻器/asher，專為Si、GaAs、SOI、GaN、RTP和PECVD等先進材料的高清潔度、高性能蝕刻和粉刷而設計。該工具采用新穎的單一射頻電源設計,可提高蝕刻均勻性,有助於卓越的防止過度蝕刻,並有助於確保出色的工藝穩定性。單個射頻泵還減少了每個加熱器的熱預算，從而縮短了蝕刻時間。該機隨附的軟件包提供所有射頻功率參數的控制，從源功率和功率電平控制到脈沖時間控制和腔室穩定性。用於等離子體監測的采樣攝像機設備允許使用精確的無損過程監測進行原位過程優化。控制系統還允許設置和修改流程配方，從而允許各種新的和創新的流程系統。該工具還安裝了基於微波技術的動力裝置，以進一步提高精度和工藝控制靈活性。此外,還可以選擇使用低溫冷卻機,允許某些材料的工藝溫度接近-100 °C。此外，該工具安裝了各種真空系統，以減少工藝汙染和提高蝕刻均勻性。UNAXIS SLR有一個先進的自我校正終點檢測工具，防止過度侵蝕並確保可重復性。機器上的標準加工室有一個75.4mm x 102mm的可供蝕刻的窗口區域和15.2升的蝕刻體積。使用ceramicliner升級的附加升級可以使可用窗口面積增加43.4%,蝕刻量增加50%。PLASMATHERM SLR是制造高級設備的理想工具,對於尋求提供出色蝕刻一致性、穩定過程和最新監控系統的工具的工藝工程師來說,它是一個絕佳的選擇。