二手 PLASMATHERM / UNAXIS SLR #9275973 待售

PLASMATHERM/UNAXIS SLR是一種高速等離子體蝕刻和灰化溶液，設計用於硬質材料的精確微加工。它具有多種特性，非常適合用於生產先進的技術應用，如半導體和MEMS（微型機電系統）。UNAXIS SLR專為高級工藝靈活性和高生產率而設計,能夠加工300 mm x 600mm以下的基板。適用於各種材料的灰化和蝕刻，包括金屬、陶瓷和蝕刻速率高達60 μ米/分鐘的聚合物。等離子體蝕刻和灰化設備建立在一個三臂機器人平臺上，以便對基板進行精確處理。其雙壓力技術以最高精度在整個基板上提供均勻的蝕刻速率。它還提供了最快、最堅固的蝕刻/灰燼系統之一,可用於行業快速周轉。PLASMATHERM單反利用先進的等離子體控制系統提供高質量的微機械結構。三級等離子體提取系統可確保高基質產量和低運行成本。可調等離子體源還保證了最佳蝕刻速率和均勻性，而與基材性質無關。該裝置還提供了廣泛的等離子體氣體選項，包括氯氣、氧氣、氮氣和氙氣，以實現對不同材料的應用。它還具有高容量和低容量操作的復雜過程自動化功能,以最小的操作員幹預來確保高基板產量。單反也非常可靠，不僅提供高性能，而且提供多年無問題的操作。集成的腳踏開關可對機器進行安全的遠程控制。PLASMATHERM/UNAXIS SLR設計小巧,安裝方便,是需要快速吞吐量、卓越精度和高產率的應用程序的絕佳選擇。