二手 PLASMATHERM / UNAXIS Versaline #293817395 待售

PLASMATHERM/UNAXIS Versaline是一款為等離子體蝕刻幹蝕刻而設計的蝕刻器/asher。它能夠為各種半導體器件加工應用蝕刻和灰化基板。這種設備是為航空航天和汽車電子工業量身定制的，是一種強大的幹蝕刻工具，用於各種尺寸幾何形狀的復雜3D特征。利用其通用的等離子體源，提供了精確的圖樣設計、卓越的均勻性和更高的吞吐量，確保了最佳的蝕刻效果。UNAXIS Versaline具有一個5.9英寸寬的多級等離子體源，使蝕刻過程能夠得到精確控制，從而實現精確的納米圖樣化以及高長寬比蝕刻。等離子體源利用氙氣作為蝕刻氣體，能夠同時進行O2和CF4等離子體蝕刻。這允許以不同的蝕刻速率對不同類型的材料進行蝕刻。此外,PLASMATHERM Versaline先進的機器人臂技術及其自動裝卸設備提供了自動化的生產解決方案,消除了許多手動過程,提高了吞吐量和整體系統生產率。Versaline有一個集成的清潔裝置，它利用去電離水沖洗和幹洗技術，以確保在蝕刻過程後基板表面清潔。此外，它還有一個表面處理冷卻器模塊，以幫助灰化過程。PLASMATHERM/UNAXIS Versaline的監控機具有先進的數據采集工具,用於實時監測和分析蝕刻和灰化過程,以確保獲得最佳結果。此資產包括允許輕松操作的圖形用戶界面,以及具有運動控制功能的高分辨率攝像頭,用於在蝕刻和灰化過程中監視過程。UNAXIS Versaline有一個可靠的安全模型，以確保正常運作。該設備包括緊急停車、排氣閥、光學和電氣安全傳感器以及警報和狀態指示器。此外，該系統還配備了減少排放控制裝置，從機器排出有害氣體，以確保清潔的工作環境。PLASMATHERM Versaline是一款功能強大、靈活的微電子行業蝕刻器/asher的理想產品。它憑借先進的等離子體源和自動加載工具可以提供優異的效果，其集成的安全資產確保了蝕刻過程的安全完成。它非常適合需要復雜3D功能或納米級功能的應用程序,並提高了吞吐量和統一性。