二手 PLASMATHERM / UNAXIS Versaline #293826125 待售
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ID: 293826125
晶圓大小: 6"
優質的: 2005
ICP Etcher, 6"
Cassette type: Loadlock and transfer chamber, 6"
ESC Chuck type: Process chamber, 6"
RF Generator module
EDWARDS STP-A1303CV Turbo pump
SKM SKMCS-30W Chiller
ENI NOVA-50 RF Generator
COMDEL DBS RF Generator
EMS 04500-011 Robot
Throttle / Gate valve: NC TPV / IPV Valve inspection
Process chamber: Vesaline DSE Process
Monitor
MKS Gases: C4F8, SF6, Ar, O2, N2
2005 vintage.
PLASMATHERM/UNAXIS Versaline是一個領先的蝕刻器/粉碎器，用於一系列應用，包括半導體加工、MEMS器件制造、光子器件制造和其他薄膜沈積工藝。UNAXIS Versaline提供高質量的蝕刻和灰化工藝，具有極好的可重復性和嚴格的尺寸控制。該設備采用最新的MEMS制造技術，以確保卓越的均勻性和批量生產就緒。利用專有的等離子體技術，UNAXIS和PLASMATHERM Versaline提供了卓越的均勻性和控制性，從而縮短了基板加工時間並改進了設備規格。Asher/etcher可提供高吞吐量、清潔和經濟高效的解決方案,占用空間很小。Versaline采用封閉式腔室設計,操作噪音低,提供用戶友好且節省空間的平臺。它還通過了第三方安全要求的認證，使其操作高度可靠和安全。在可擴展性方面，PLASMATHERM/UNAXIS Versaline的設計容量高達150 w RF功率和500 mm2處理區域。該系統采用4籃子設計,可靈活配置批量和單個基板工藝。此外,還通過一系列自適應功能（如可選的自動負載儲物櫃、基板對準漫遊車以及實時監視和控制系統）,增強了設備的功能,從而使操作員能夠始終保持一致的產品質量。UNAXIS Versaline 蝕刻器/asher也是一臺高度可定制的機器,可輕松集成到現有的流程基礎架構中。該工具與各種流程模塊集成在一起,以實現高效、自動化的工作流程,並提供最少的手動編程,從而最大限度地提高資產性能和吞吐量。蝕刻器/asher還得到了包括高級清潔部件、傳輸外圍設備和RF匹配單元在內的各種配件的支持,從而使模型能夠滿足任何特定的蝕刻需求。總體而言,PLASMATHERM Versaline 蝕刻器/Asher是一系列蝕刻和灰化工藝的理想選擇,因為它提供卓越的性能、耐用性、可擴展性和靈活性,為用戶提供所需的可靠、可重復和經濟高效的結果。
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