二手 PLASMATHERM / UNAXIS Versalock 700 #9311007 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
ID: 9311007
晶圓大小: 4"
優質的: 2000
PECVD System, 4"
(2) Process chamber
Load lock
Wafer handler
PM1:
For HDCVD
Gases: SiH4, N2, NH3, N2, O2, Ar, SF6
Wafer type: Mechanically clamped wafers
PM2:
For PECVD
Gases: SiH4, N2O, NH3, N2, CH4, He, SF6
Wafer type: Electrostatic chuck
Removed parts:
PM1:
Roots blower package
Gas box exhaust switch
NESLAB Chiller
Vacuum tees
He MFC for wafer backside
ENI (Bias) RF Generator
ICP RF Match network
RF Cables
Match position controllers
PM2:
Roots blower package
Air regulator assembly
Gas box exhaust switch
NESLAB Chiller
PM7 Controller
RF5S RF Generator
Waterflow sensor
RF Feedthrough
N2O MFC (PM2)
RF Cables
Match position controllers
Missing parts:
Capacitor housing for ICP
BROOKS AUTOMATION Robot for wafer handler
2000 vintage.
PLASMATHERM/UNAXIS Versalock 700是一款針對精密和高速率蝕刻應用而設計的蝕刻器和asher。它旨在為用戶提供卓越的質量、準確性和可重復性。UNAXIS Versalock 700是一種工業級蝕刻器和asher設備，可實現快速蝕刻速率，速度高達28 nm/min。PLASMATHERM VERSA LOCK 700是一個自動化、模塊化和可配置的系統，配備了多個區域，以實現靈活性和性能。它是為提供無與倫比的精度和可重復性與精密真空和氣體測序，熱控制和工藝剖面優化。PLASMATHERM/UNAXIS VERSA LOCK 700具有超高分辨率成像和定位功能,具有較高的對準和可重復性,並且具有高速率的al./Cu蝕刻工藝,具有較高的選擇性和蝕刻速率。還配備了用於閉環監控和工藝優化的先進紅外CCD攝像頭單元，以及用於高性能蝕刻、清潔、光掩模感知、O2蝕刻的多個工具區。PLASMATHERM Versalock 700還配備了高效、符合人體工程學的設計，允許用戶效率和分選產品貫穿始終。它專為無縫集成到現有系統而設計,具有全面的監控功能和故障排除工具。它由溫度控制的石英室構成，能夠精確控制工藝溫度。Versalock 700具有可變壓力源,可在各種組件中實現卓越的過程控制和結果的可重復性。總體而言,UNAXIS VERSA LOCK 700是一款高性能蝕刻器和asher機器,旨在提高精度、可重復性和卓越的質量性能。它配備了眾多功能,旨在滿足最苛刻的蝕刻和灰化應用,並且具有高度可配置和模塊化的特點,可提供卓越的精度和工作效率。
還沒有評論