二手 PLASMATHERM / UNAXIS Versalock #293804241 待售

PLASMATHERM/UNAXIS Versalock是一款為半導體、MEMS和薄膜加工而設計的蝕刻器、灰粉和等離子體清潔劑。這個工具是用一個專有的陰極開等離子體腔室和多種工藝流構成的，使它成為蝕刻和粉刷細膩結構最通用、最有效的工具之一。該設備采用了一種新的專利「幹蝕刻鎖定」系統，以提高等離子體蝕刻和灰化工藝的精度。高溫UNAXIS Versalock蝕刻裝置可配置為處理200 mm以下的任何基材尺寸和配置中的12個蝕刻/灰燼階段。針對離子密度、等離子體參數和工藝參數的精確控制，優化了獨特的陰極開孔設計。該機提供了一個集成的高溫熱處理室，配置用於所有類型的等離子體化學和氣體混合物。PLASMATHERM Versalock提供超銳利邊緣定義、最小輪廓疲勞和低級蝕刻選擇性。該工具采用了獲得專利的雙級高溫灰化工藝，確保徹底清除沈積到基板水平的材料。Versalock資產還提供集成的視覺監控和晶圓映射,以精確描述過程結果和高級過程修改。包括一個高級配方管理器，以提供結果的統一性和最小化實驗所花費的時間。通過實時數據記錄和參數優化,進一步增強了PLASMATHERM/UNAXIS Versalock的復雜測量和分析能力。可選的高分辨率光譜儀提供過程結果的光譜分析,確保產品性能的準確表征。包括一個自動化的測試模型,以確保產品的一致性、產品的準確性和流程的可追蹤性。UNAXIS Versalock蝕刻器、asher和等離子體清潔器是微觀結構、MEMS和微觀分子蝕刻/灰化過程的理想選擇。獨特的陰極開放設計消除了交叉汙染,增強了邊緣定義,並提高了蝕刻均勻性。較短的掃描時間和強大的測試設備工具使其成為一種通用、有效的蝕刻和灰燼工具。憑借其革命性的幹蝕刻鎖定系統，PLASMATHERM Versalock真正在競爭對手中脫穎而出。