二手 PLASMATHERM / UNAXIS Versalock #9227498 待售

ID: 9227498
ICP Bosch system.
PLASMATHERM/UNAXIS Versalock是由UNAXIS Technologies, Inc.開發的最先進的蝕刻器和asher。與傳統的蝕刻和灰化方法相比,它提供了卓越的性能和工藝靈活性。UNAXIS Versalock是一種先進的等離子體蝕刻和灰化設備,利用高功率射頻源和多室真空系統實現蝕刻和灰化功能。PLASMATHERM Versalock利用兩個完全集成的熱流室,以及兩個磁控管和兩個等離子體射流的組合,均勻快速地傳遞特定的幹式等離子體蝕刻過程。Versalock具有高度精確和先進的控制單元,允許精確控制蝕刻參數,如功率、氣流、壓力和溫度。這樣可以嚴格控制蝕刻過程,從而獲得最佳的產品性能。PLASMATHERM/UNAXIS Versalock還設有四個獨立的氣體反應堆,有助於減少汙染的影響和提高準確性。UNAXIS Versalock具有一種新型的模塊化和可互換組件的機器,允許用戶快速簡單地定制蝕刻和灰化系統,以更好地匹配應用程序。這使用戶能夠更高效地處理其流程,並最大化PLASMATHERM Versalock的功能。Versalock還具有較高的真空泵送速度,允許更快的幹燥時間和更高的吞吐量。總體而言,PLASMATHERM/UNAXIS Versalock是一款非常先進的蝕刻器和asher工具,可提供卓越的性能、靈活性和精確度。UNAXIS Versalock易於定制模塊化和可互換組件,並具有較高的真空泵送速度,是精密蝕刻和灰化的完美工具。
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