二手 PLASMATHERM / UNAXIS VLR 700 #9075710 待售

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ID: 9075710
晶圓大小: 8"
ICP System, 8" Single chamber Front end Robot ICP Process module Equipped with ICP source (8) Gas channels Transfer module: HINE 4.5 robot Load module: Dual cassette platform, 8" PLASMATHERM Design Wafer mapping sensors Mag lev turbo Turbo controller Process baratron.
PLASMATHERM/UNAXIS VLR 700是一款最先進的蝕刻器/asher,其設計目的是快速、精確地以高精度對困難的材料進行微機械處理。它是同級產品中最先進的產品,具有一系列先進的蝕刻/asher技術,包括線性驅動系統、強大的真空室和耐用的低溫等離子頭。直線傳動系統操作流暢,加工速度快,加工精度高.它旨在消除因熱膨脹引起的翹曲和錯位,即使使用極其敏感的材料也能確保可靠的操作。高精度真空室提供了出色的工藝控制和重復性,可調氣流,可調壓力水平。這確保了均勻的蝕刻和灰化,並減少了材料浪費。等離子體頭為低溫和高溫過程提供一致的溫度控制。它具有一個用於精確輸送反應性氣體的自對準噴嘴,以及精確的反饋控制,以確保每個工藝都得到最佳設置,從而達到最大精度。此外,等離子體頭的設計目的是盡量減少汙染,延長工具的壽命和確保原始結果。UNAXIS VLR 700擁有大量兼容的腔室材料,適合多種蝕刻和灰化工藝,讓用戶實現了非凡的精密微加工。它具有可調配方參數和軟件自動化功能,非常適合原型生產和大批量操作。該工具還設計用於簡單的操作和維護,使用戶能夠快速、輕松地進行維護。總體而言,PLASMATHERM VLR 700是一款高級蝕刻器/asher,可為用戶提供無與倫比的性能和精度。它提供了廣泛的特性和功能,例如線性驅動系統、強大的真空室、精確等離子體頭、可調配方參數和軟件自動化,使其適合各種任務。它是為簡單的操作和維護而設計的,能夠以最小的浪費實現高精度和可重復性。
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