二手 PLASMATHERM / UNAXIS VLR 700 #9272287 待售

PLASMATHERM/UNAXIS VLR 700是一種基於真空的蝕刻器/asher，設計用於微加工工藝。它通常用於在基板上以高精度和重復性的速率蝕刻和沈積材料薄膜。該設備以真空鎖定反應器室為基礎，能夠與任何工藝無縫集成。UNAXIS VLR 700由三個主要部件組成：真空室、工藝室和真空鎖.真空室支持可編程的樣品托盤和工藝室，可針對不同的應用進行定制。樣品托盤由可調磁鐵固定到位，有助於樣品放置和工藝控制。該工藝室配有高度敏感的溫度控制系統、輻射屏蔽裝置和基板支架。真空鎖通過使用平衡的門密封件和多個端口閥來確保最大程度的氣密性。它也作為材料進出房間的出入口路徑。PLASMATHERM VLR 700的先進工藝技術使專家能夠以高精度和重復性的速率蝕刻、沈積和圖樣金屬、氧化物和半導體材料。該裝置采用集成工藝室和真空機，確保所有工藝操作得到最大精度和參數的控制和監控。數字控制器允許定制過程參數,從而實現準確、可重復的結果。VLR 700的設計提供卓越的氣密性和出色的耐化學性,使其成為基於真空的應用的理想選擇。刀具的高溫公差（最高850 °C）允許蝕刻高溫材料。此外，PLASMATHERM/UNAXIS VLR 700配備了定制軟件包，方便訪問所有參數設置、流程數據和性能數據，方便設置和監控流程。總體而言，UNAXIS VLR 700資產是一種可靠且用途廣泛的蝕刻器/灰化器，非常適合從半導體工程到微加工的應用。PLASMATHERM VLR 700具有先進的工藝技術、耐高溫、可靠的密封性能,是尋求可靠蝕刻器/灰化器的理想選擇。