二手 PLASMATHERM / UNAXIS VLR 700 #9384115 待售

PLASMATHERM/UNAXIS VLR 700是一款最先進的蝕刻器/asher，適用於先進的半導體制造應用。這種設備是一種混合等離子體/真空蝕刻器/灰化器，能夠處理各種材料表面的蝕刻和灰化過程。它是一個由三個相互連接的主要組件組成的模塊化系統，在處理基板時可以提供最佳的精度和靈活性。射頻發生器是UNAXIS VLR 700的主要部件之一，支持蝕刻和灰化過程。它能夠達到高達1000瓦的功率水平，頻率範圍在20 kHz至13.56 MHz之間，並支持高密度等離子體均勻性、重復性和出色的工藝控制。這有助於精確處理、提高產量和降低擁有成本。PLASMATHERM VLR 700的工藝室是該單元的核心，設計為提供低壓、均勻的等離子體環境。它的占地面積小,便於安裝和維護,而其可移動、可回流的功能和多用途的接入端口則便於高效的基板加載、卸載和維護。該工藝室配有高效的健康監測機，適用於蝕刻、清潔、制造薄膜和納米結構等工藝，用於先進的半導體制造。最後,控制器是VLR 700的控制中心,使用戶能夠有效地監視、維護和控制蝕刻/灰化過程。它允許操作150多個不同的參數，並且通過使用行業標準接口很容易與外部系統集成。控制器包括高級診斷功能，使其適合各種工藝條件和工藝配方。PLASMATHERM/UNAXIS VLR 700提供了一個全面、集成的蝕刻器/asher工具，非常適合半導體制造應用，如MEMS、薄膜蝕刻、納米加工和高級包裝。它兼具蝕刻和灰化功能、頂級特性和出色的工藝控制功能,使制造商能夠高效生產高質量和可靠的元件,並獲得更高的收益和更高的投資回報。