二手 PLASMATHERM / UNAXIS VLR #9139629 待售

PLASMATHERM/UNAXIS VLR是一種蝕刻器/asher，通常用於半導體加工和其他應用。它能夠利用高溫等離子體射流和其他集成組件每小時處理數百個晶圓。整個設備的設計既方便用戶又高效，其各種安全功能使其成為專業設置和家庭實驗室的合適選擇。UNAXIS VLR包含一個高精度的平面波導，它將高度聚焦的等離子體射流送過一個向大氣和真空系統開放的液體生產室。等離子體射流能夠達到超過1000 °C的溫度，用於去除晶圓表面的物質。液體生產率室是一個300毫米的石英容器，包含一個獨立的循環液體供應，以控制室內的溫度和腐蝕性環境。該單元還包含一個集成冷卻模塊和一個計算機界面，允許用戶對蝕刻過程進行編程和監控。冷卻模塊有助於在蝕刻過程完成後快速冷卻基板,從而實現快速高效的生產周期。計算機界面不僅可以對機器進行編程，還可以進行實時監控和數據記錄。因此,用戶可以同時監視工藝條件和結果,以保持最高精度。最後,PLASMATHERM VLR還具有多種安全功能,以確保對晶片或用戶造成損害的風險降至最低。這包括一個封閉工具，防止工作人員接觸蝕刻過程中使用的腐蝕性化學品，以及幾個確保資產安全高效運行的集成傳感器。總體而言,VLR是一種高效可靠的蝕刻器/灰化器,能夠精確處理每小時數百個晶圓。得益於其高溫等離子體射流、冷卻模塊、集成安全功能和計算機界面，它既適用於專業設置，也適用於家庭設置，為用戶提供了一個高效的模型，可以用來生產高精度的晶片。