二手 PLASMATHERM / UNAXIS VLR #9205770 待售

PLASMATHERM/UNAXIS VLR是一種獨特的幹蝕和灰化工具，設計用於處理大型基板。該設備設計用於加工直徑達300毫米的基板，最大蝕刻速率為10微米/分鐘，可滿足大批量生產的最高需求。UNAXIS VLR除了具有大量生產能力外,還提供卓越的表面特性、高生產率和低運行成本。該系統能夠處理各種各樣的基材，包括氧化物基材料、介電材料、有機材料和聚合物材料。通用的腔室配置還允許一系列受控蝕刻過程，如等離子體聚合、等離子體蝕刻、幹蝕刻、表面活化和金屬蝕刻。該單元還為不同類型的基板提供了順序蝕刻過程的可能性,從而能夠生產具有復雜結構和3 D幾何形狀的設備。該機獨特的一套特性設計達到了質量和性能的最高標準。其雙真空室提供高效的工藝時間和一致的高通量性能。高級過程控制監視工具（PCMon）有助於確保高度可重復的精確度過程,而可選的CAD兼容性允許快速更換工具以實現最大吞吐量。此外,該資產還與各種認證和安全標準兼容,包括CE Mark、EU-EMC Directive和UL/CSA。PLASMATHERM VLR具有強大的板載用戶界面和多個數字I/O端口,可連接到聯網系統。集成的診斷模型和操作軟件提供自動化的設置和操作,而實時趨勢和數據記錄則提供對流程參數和狀態的完全控制。此外，該設備還配有安全聯鎖、屏蔽氣體和用於環保解決方案的阻氧化劑。總體而言,VLR是高批量生產的高級蝕刻器/asher的理想選擇。它提供了高性能功能、直觀的用戶界面和環保解決方案的獨特組合。該系統具有廣泛的基板和工藝，非常適合需要精確控制和重復進行蝕刻和灰化操作的用戶。