二手 PLASMATHERM Versaline #293592006 待售

PLASMATHERM Versaline 蝕刻器/asher是一種最先進的蝕刻和灰化設備,設計用於半導體制造應用中的卓越性能。該系統具有廣泛的針對各種基材和工藝的蝕刻和灰化解決方案。Versaline具有高度靈活的工藝室和廣泛的配置。該腔室具有獨立的氣體進氣和排氣，以提供對工藝環境的精確控制。腔室的布局具有兩區可用性，各向同性ashing區和定向蝕刻區。這允許對設備進行縮放,以適應不同的工藝要求。PLASMATHERM Versaline利用先進的磁控管濺射源，提供精確的通量控制和高均勻性。它還有一個高效的真空環境，有一個脈沖機，以保持清潔條件和減少可能影響過程的汙染量。室內的惰性氣氛保證了最高質量的結果。此外，Versaline有內置的鎖載工具，允許用戶精確控制蝕刻氣氛。該資產還具有計算機控制的氣體凈化模塊，允許精確的氣體控制。PLASMATHERM Versaline還具有精確的溫度控制功能，允許用戶為自己的特定基材和工藝選擇最佳工藝溫度。Versaline專為精確可靠的操作而設計，維護要求低，性能優異。此外,該模型還具有高級監控和診斷功能,為用戶提供有效優化流程所需的信息。總體而言,PLASMATHERM Versaline 蝕刻器/asher是一款先進、高效且易於使用的設備,可提供精確的蝕刻和灰化解決方案。它是任何半導體制造應用的理想系統，允許用戶達到最高質量的結果。它是為可靠性和性能而設計的，維護要求低，工藝效果好。