二手 PLASMATHERM Versaline #293602359 待售
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PLASMATHERM Versaline是一款精密的蝕刻器/asher,經過精密和先進的工程設計,可提供強大的蝕刻和灰化性能。Versaline配備了現代化的專有原位等離子體,可實現最高級別的蝕刻和灰化精度以及可重復性。其柔韌性允許對不同晶片材料和尺寸進行快速加工，自動改變氣流、壓力和等離子體點火參數，以保證高工藝質量。PLASMATHERM Versaline的高級功能和控制允許用戶對各種材料的蝕刻/灰分面積和深度以及高長寬比臺面蝕刻進行微觀測量和調整。與氧或氯一起工作，蝕刻器/asher是許多材料類型的理想選擇，包括矽、的、二氧化矽和玻璃、GaAs、氮化矽和多晶金剛石。Versaline由BCD（基本配置設備）控制臺、集成硬件平臺和刻版端口面板組成,利用先進的工藝控制技術提供通風、惰性或氧化氣氛、大型等離子陣列和氣體控制。此外，該系統的離子-enoch系統、加熱敏感器和集成的E-gun系統協同工作，以優化工藝分化，確保汙染最小。PLASMATHERM Versaline憑借其靈活模塊化控制（FMC）技術,實現了蝕刻和灰化參數的均勻性和穩定性,以及實時監控和過程控制。這些系統還內置了振動警報系統，以通知任何異常情況，以便快速糾正該過程。Versaline選擇了大量的傳輸模塊,提供了高度靈活的配方實施、高效的樣品處理以及結合各向同性蝕刻、反應性離子蝕刻（RIE）、雙頻介電蝕刻、隔離蝕刻等不同工藝組件的能力。蝕刻器/asher還支持晶片運輸和自動處理程序，允許制造每批多達八個晶片。總而言之,PLASMATHERM Versaline是一款功能強大且創新的蝕刻器/asher,可實現可靠的重復性能和精確控制。憑借其廣泛的功能,Versaline提供了卓越的功能,可確保為各種應用程序提供卓越的工藝質量和容量。
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